週次

課程主題

創新教學實施規劃

第一週

課程簡介與實驗室安全認知

面授相關課程實施方式,成績計算方式, 實驗室安全衛生守則,常用軟體平台如ee-class ZOOM及Zuvio等

第二週

半導體製程暨微感測元件原理與製程設備介紹

面授導體製程暨微感測元件原理與製程設備介紹

第三週

半導體製程暨微感測元件原理與製程設備介紹

遠距教學半導體製程暨微感測元件原理與製程設備介紹並實施同步教室ZOOM

第四週

叢集式微感知層元件製造模組系統與雲端監控連結技術

遠距教學叢集式微感知層元件製造模組系統與雲端監控連結技術影片說明並實施同步教室ZOOM

第五週

清洗製程在半導體製造應用

遠距教學清洗製程在半導體製造應用並實施同步教室ZOOM

第六週

清洗製程在半導體製造應用

遠距教學清洗製程影片說明並實施同步教室ZOOM

第七週

薄膜化製程在半導體製造應用

遠距教學薄膜化製程在半導體製造應用並實施同步教室ZOOM

第八週

薄膜化製程在半導體製造應用

遠距教學薄膜化製程在半導體製造應用並實施同步教室ZOOM

第九週

期中測驗

線上測驗

第十週

圖案化製程在半導體製造應用

圖案化製程在半導體製造應用面授並進行期中考檢討

第十一週

圖案化製程在半導體製造應用

圖案化製程在半導體製造應用遠距教學並實施同步教室ZOOM

第十二週

微感測元件基板清潔實作

先觀看影片後進行微感測元件基板清潔現場實作

第十三週

微感測元件系統操作實習

微感測元件系統操作實習遠距教學並實施同步教室ZOOM可進行現場實作

第十四週

金屬薄膜製作

金屬薄膜製作之蒸著機遠距教學並實施同步教室ZOOM可進行現場實作

第十五週

高溫爐操作

面授高溫爐操作

第十六週

RTA

RTA遠距教學並實施同步教室ZOOM可進行現場實作

第十七週

濺鍍機

濺鍍機遠距教學並實施同步教室ZOOM可進行現場實作

第十八週

期末報告

面授