課程介紹
課程大綱:
簡介
清洗製程操作
實驗室安全認知
積體電路生產簡介
從砂到晶圓(線上測驗)
加熱製程
微影製程
高溫爐操作
濺鍍機操作
微影製程
電漿製程
電漿製程
RTA操作
金屬薄膜製作
離子佈植製程
離子佈植製程(續)
職涯輔導週
時間/地點:
星期三(第一節/B0522, 第二節/B0522, 第三節/B0522, 第四節/B0522)
備註/其他線上教材:
教學進度:
課程活動
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需繳交, 2016-05-18 1.1 期末報告
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閱讀 > 15 分鐘 1.2 ch9_8蝕刻製程
15:13
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閱讀 > 14 分鐘 1.3 ch9_9蝕刻製程14:58
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閱讀 > 15 分鐘 2.1 ch9_4蝕刻製程15:42
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閱讀 > 14 分鐘 2.2 ch9_5蝕刻製程14:00
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閱讀 > 14 分鐘 2.3 ch9_6蝕刻製程14:36
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閱讀 > 13 分鐘 2.4 ch9_7蝕刻製程13:29
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3.第十一週5/4(本週採遠距教學)
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閱讀 > 15 分鐘 3.1 ch9_蝕刻製程15:26
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閱讀 > 14 分鐘 3.2 ch9_1蝕刻製程14:50
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閱讀 > 15 分鐘 3.3 ch9_2蝕刻製程15:11
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閱讀 > 13 分鐘 3.4 ch9_3蝕刻製程13:22
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4.第十週ˋ4/27本周採取面授
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閱讀 > 9 分鐘 4.1 RTA09:27
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閱讀 > 6 分鐘 4.2 熱蒸鍍06:50
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閱讀 > 7 分鐘 4.3 熱蒸鍍續07:08
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需繳交, 2016-05-11 4.4 蒸鍍機
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需繳交, 2016-05-11 4.5 RTA
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5.第九週期中考
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分數 > 60, 2016-04-20 5.1 期中考
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6.第八週(4/13)本週採遠距教學補測第七章隨堂考補測第七章隨堂考請致第六週(3/30)測驗
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閱讀 > 14 分鐘 6.1 ch8_3離子佈植製程14:15
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閱讀 > 14 分鐘 6.2 ch8_4離子佈植製程14:41
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閱讀 > 15 分鐘 6.3 ch8_5離子佈植製程15:38
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分數 > 60, 2016-04-17 6.4 離子植佈
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閱讀 > 15 分鐘 7.1 ch8_離子佈植製程15:06
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閱讀 > 15 分鐘 7.2 ch8_1離子佈植製程15:42
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閱讀 > 13 分鐘 7.3 ch8_2離子佈植製程13:11
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閱讀 > 15 分鐘 8.1 ch7-2_電漿製程15:00
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閱讀 > 15 分鐘 8.2 ch7-3_電漿製程15:20
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閱讀 > 11 分鐘 8.3 ch7-4_電漿製程11:04
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分數 > 60, 2016-04-17 8.4 電漿製程隨堂測驗
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9.3/23第五周高溫爐/濺鍍機操作(本周採面授)使用Zuvio簽到
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閱讀 > 14 分鐘 9.1 ch7-1_電漿製程14:21
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需繳交, 2016-04-13 9.2 濺鍍機實驗報告
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需繳交, 2016-04-13 9.3 高溫爐實驗報告
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10.3/16第四周微影製程2/高溫爐/濺鍍機操作(本周採遠距教學)微影製程2高溫爐操作濺鍍機操作09:00-12:00會議ID:185-861-840感覺內容過少,緊急增加電漿製程,雖然進度稍微超前本周有隨堂線上測驗
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閱讀 > 7 分鐘 10.1 ch6-7_微影製程07:15
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閱讀 > 3 分鐘 10.2 furnace103:52
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閱讀 > 14 分鐘 10.3 sputtering14:47
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閱讀 > 14 分鐘 10.4 ch7_電漿製程14:59
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分數 > 60, 2016-03-23 10.5 微影製程線上隨堂測驗
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閱讀 > 14 分鐘 11.1 ch6-2_微影製程14:56
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閱讀 > 15 分鐘 11.2 ch6-3_微影製程15:13
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閱讀 > 14 分鐘 11.3 ch6-4_微影製程14:55
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閱讀 > 14 分鐘 11.4 ch6-6_微影製程14:19
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12.第二週影片及微影製程(本周採遠距教學)
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閱讀 > 14 分鐘 12.4 ch6_微影製程14:50
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閱讀 > 14 分鐘 12.5 ch6-1_微影製程14:36
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閱讀 > 1 分鐘 13.1 清洗_0101:48
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閱讀 > 1 分鐘 13.2 清洗_0200:42
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閱讀 > 3 分鐘 13.3 清洗_0303:04
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閱讀 > 1 分鐘 13.5 電子工程系B0522光電半導體實驗室安全
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閱讀 > 1 分鐘 13.6 zoom1
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閱讀 > 8 分鐘 13.7 zoom108:25
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分數 > 60, 2016-03-02 13.8 清洗1
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