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第三週微影製程1(本周採遠距教學)
半導體製程實習
第十三週期末報告(5/18)本次採取面授
期末報告
ch9_8蝕刻製程
ch9_9蝕刻製程
第十二週5/11本週採遠距教學
ch9_4蝕刻製程
ch9_5蝕刻製程
ch9_6蝕刻製程
ch9_7蝕刻製程
第十一週5/4(本週採遠距教學)
ch9_蝕刻製程
ch9_1蝕刻製程
ch9_2蝕刻製程
ch9_3蝕刻製程
第十週ˋ4/27本周採取面授
RTA
熱蒸鍍
熱蒸鍍續
蒸鍍機
RTA
第九週期中考
期中考
第八週(4/13)本週採遠距教學補測第七章隨堂考
ch8_3離子佈植製程
ch8_4離子佈植製程
ch8_5離子佈植製程
離子植佈
第七週(4/6本週採遠距教學)
ch8_離子佈植製程
ch8_1離子佈植製程
ch8_2離子佈植製程
第六週電漿製程3/30本周採遠距教學
ch7-2_電漿製程
ch7-3_電漿製程
ch7-4_電漿製程
電漿製程隨堂測驗
3/23第五周高溫爐/濺鍍機操作(本周採面授)
ch7-1_電漿製程
濺鍍機實驗報告
高溫爐實驗報告
3/16第四周微影製程2/高溫爐/濺鍍機操作(本周採遠距教學)
ch6-7_微影製程
furnace1
sputtering
ch7_電漿製程
微影製程線上隨堂測驗
第三週微影製程1(本周採遠距教學)
ch6-2_微影製程
ch6-3_微影製程
ch6-4_微影製程
ch6-6_微影製程
第二週影片及微影製程(本周採遠距教學)
Intel_ The Making of a Chip with 22nm_3D Transistors_(1080p)
Semiconductor Technology at TSMC, 2011_(480p)
GLOBALFOUNDRIES Sand to Silicon_(480p中文字幕)
ch6_微影製程
ch6-1_微影製程
第一週
清洗_01
清洗_02
清洗_03
104-2簡明行事曆1
電子工程系B0522光電半導體實驗室安全
zoom1
zoom1
清洗1
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